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重庆集成电路制造业洁净室设计的三大类型
时间:2023-03-29 09:54:18 | 浏览量0
集成电路制造对无尘车间的生产环境有较为严格的要求,所以运行成本较高,不同的工艺制程对洁净室内洁净度的要求也各有不同,例如光刻要求在I级的微环境下需要达10级,而化学机械研磨则只要求达1000级的洁净度环境。并且洁净室风速、风量调节困难,系统升级改造困难,因此操作灵活性很低。根据洁净室车间空气循环的特点主要可分为三大类型:
(1)、循环风机配合湿式密封系统:设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求,但运行成本较高,并且洁净室风速、风量调节困难,系统升级改造困难。
(2)、循环空调机配合高效送风口系统:小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用,对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
(3)、FFU循环系统:不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低,而且操作灵活性很高,可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整,这些都很好地满足了半导体制造的需求,因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为净化行业最主要的设计方案。
重庆辉路装饰有限公司于2016年正式注册成立,注册资金1000万元,具有国家建筑装饰工程施工贰级资质;施工一级资质、ISO9001质量管理、ISO4001环境管理、GB/T28001职业健康安全三整合国际标准管理体系认证中。公司以承担各类重庆净化车间装修,重庆洁净室装修,重庆无尘车间装修,重庆十万级净化车间装修,重庆万级净化车间装修,重庆百万级净化车间装修的大型专业装饰公司。
公司现有高级师傅20余人,中级师傅100余人,普工50余人。历经近10年装饰工程现场施工锤炼,6年国际先进企业化管理的发展,积累了丰富的装修工程的施工经验。以诚信、求实、创新、的企业精神;以专业、专注、专一的工匠精神;热忱服务于广大客户。公司秉承精心设计,严格施工,确保质量,优质服务的工作原则在市场竟争中求发展,辉路装饰愿与社会各界人士共创时代辉煌铸就品牌。感恩新老客户的支持与合作,辉路愿与您携手共进、互利共赢、共筑中国梦、共创绿色健康生活。
(1)、循环风机配合湿式密封系统:设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求,但运行成本较高,并且洁净室风速、风量调节困难,系统升级改造困难。
(2)、循环空调机配合高效送风口系统:小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用,对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
(3)、FFU循环系统:不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低,而且操作灵活性很高,可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整,这些都很好地满足了半导体制造的需求,因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为净化行业最主要的设计方案。
重庆辉路装饰有限公司于2016年正式注册成立,注册资金1000万元,具有国家建筑装饰工程施工贰级资质;施工一级资质、ISO9001质量管理、ISO4001环境管理、GB/T28001职业健康安全三整合国际标准管理体系认证中。公司以承担各类重庆净化车间装修,重庆洁净室装修,重庆无尘车间装修,重庆十万级净化车间装修,重庆万级净化车间装修,重庆百万级净化车间装修的大型专业装饰公司。
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